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工业气体/混合气

激光混合气

一切以气体或蒸气作为激光工作物质的激光器,统称为气体激光器。这是目前种类最多、发展最快、应用最广的一类激光器。通常可以把气体激光器划分为原子气体激光器、离子气体激光器、分子激光器和准分子激光器。气体激光器的激励方式很多,通常采用气体放电激励,此外还可采用电子束激励、气动式激励、化学激励、光激励和核动激励等。气体激光器与液体激光器、固体激光器和半导体激光器一样,已经实现了实用化。它已广泛用于工农业生产、科学研究、国防建设和医疗卫生等领域。气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体。
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产品介绍

一切以气体或蒸气作为激光工作物质的激光器,统称为气体激光器。这是目前种类最多、发展最快、应用最广的一类激光器。通常可以把气体激光器划分为原子气体激光器、离子气体激光器、分子激光器和准分子激光器。气体激光器的激励方式很多,通常采用气体放电激励,此外还可采用电子束激励、气动式激励、化学激励、光激励和核动激励等。气体激光器与液体激光器、固体激光器和半导体激光器一样,已经实现了实用化。它已广泛用于工农业生产、科学研究、国防建设和医疗卫生等领域。气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体。


由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在,将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将氦(He)-氖(Ne)激光作为第一代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。下表列出常见的氦氖激光混合气、二氧化碳激光混合气、氪氟激光混合气、密封束激光混合气和准分子激光混合气的组成和具体用途。


类别

混合气组成/(10⁻²)

用途

H₂

Ne

Ar

N₂

CO₂

Kr

F

Xe

CO

HCl

平衡气

氦氖激光
混合气


2-8.3









He

用于工业生产,科学研究和国防建设等领域

CO2激光
混合气

0.4




13.5
13.0
8.0
6.0
16.0
8-12

4.5
7.0
8.0
8.0
16.0
6-8



2.0
4.0
2.0
4.0


He

主要用于激光加工,如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及医疗上的激光外科等

氪氟激光
混合气






5.0

10.0
1-0.2





用于保护膜导光以及化学反应等领域。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化氪激光

密封束
激光气




18.5




3

2.5



作研究用的密封束激光气

准分子
激光气


25.8

9.8

0.004



1

5
0.2






5.0

Ar
He
He
Ar

准分子激光器用于医疗上的外科手术


铝及铝合金

Ar+He

熔化极,26%—90%He钨极:多种混合比值至75%He+25%Ar

惰性

熔化极及钨极

电弧温度高,适于焊接厚铝板。可增加熔深,减少气孔,熔化极时,随着氦的比例增大,有一定飞溅

钛,锆及其合金

Ar+He

Ar/He:75/25

惰性

熔化极及钨极

可增加热量输入,适用于射流电弧 脉冲电弧及短路电弧

铜及铜合金

Ar+He

Ar/He:50/50或70/30

惰性

熔化极及钨极

输入热量比纯氢大,可以减低预热温度

Ar+N₂

Ar/He:80/20

惰性

熔化极

输入热量大。但有一定飞溅

不锈钢及高强度钢

Ar+O₂

加(1%—2%)O₂

氧化性

熔化极

用于射流电弧及脉冲电弧

Ar+CO₂+O₂

加2%O₂ 5%CO₂

氧化性

熔化极

用于射流电弧,脉冲电弧及短路电弧

碳钢及低碳合金钢

Ar+O₂

加O2(1%—5%)或20%

氧化性

熔化极

用于射流电弧对焊接要求较高

Ar+CO₂

Ar/CO₂(70-80)/(30-20)Ar/CO₂ 95/5

氧化性

熔化极

有良好熔深,可以用于射流电弧,脉冲电弧及短路电弧

Ar+CO₂+O₂

Ar/CO₂/O₂ 80/15/5

氧化性

熔化极

有较佳熔深,可用于射流电弧,脉冲电弧及短路电弧

CO₂+O₂

加(20%—25% )O₂

氧化性

熔化极

用于射流电弧及短路电弧

镍基合金

Ar+He

加(15%—20% )He

惰性

熔化极及钨极

增加热量输入

Ar+H₂

H₂< 6%  

还原性

钨极

有助于抑制CO 气孔

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