| 硅烷（SiH4） | |
|---|---|
| 化学式： | SiH4 |
| CAS 编号： | 7803-62-5 |
| UN 编号： | 2203 |
| EINECS 编号： | 232-263-4 |
| 分子量： | 32.117 |
| 外观： | 无色，大蒜味 |
| 熔点： | -185 ℃ |
| 沸点： | -112 ℃ |
| 密度： | 1.34 kg/m³ |
| DOT 类： | 2.1 |
| 标签： | 易燃气体 |
包装规格
钢瓶规格 | 含量 | |
|---|---|---|
钢瓶容量 | 阀门 | 重量 |
47L | DISS632 | 10kg |
470L | DISS632 | 125kg |
电子级硅烷99.9999%
规格 | 99.9999% |
|---|---|
一氧化碳 | ≤ 0.05 ppm |
二氧化碳 | ≤ 0.05 ppm |
总氯化物 | ≤ 0.1 ppm |
甲烷 | ≤ 0.05 ppm |
C2-C4 | ≤ 0.1 ppm |
氮气 | ≤ 0.5 ppm |
氧气 | ≤ 0.05 ppm |
水分 | ≤ 0.1 ppm |
硅基乙醚 | ≤ 0.1 ppm |
甲基硅烷 | ≤ 0.1 ppm |
乙硅烷 | ≤ 0.1 ppm |
氢气 | ≤ 20 ppm |
铝 | ≤ 0.02 ppba |
锑 | ≤ 0.02 ppba |
砷 | ≤ 0.02 ppba |
镓 | ≤ 0.02 ppba |
硼 | ≤ 0.02 ppba |
磷 | ≤ 0.02 ppba |
铁+铬+镍+铜+锌 | ≤ 1 ppba |
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