用于特殊检漏的混合气，其品种规格较多，下表列出常用的几种检漏混合气
类别 | 组成及含量 | 用途 |
|---|---|---|
| 氦气 | （0.5%～10%） He+N₂ （Air） | 用于热导仪和质谱仪的检漏 |
| 卤碳素 | （0.5%～2%）卤碳素 +N₂ （Air） | 用于电子捕获仪，热导色谱仪和氢火焰色谱仪的检漏 |
| 六氟化硫 | （0.005%～10%） SF₆ +N₂（Air） | 用于热导和电子捕获仪的检漏 |
| 氪-85 | （0.5%～10%） 85 Kr+N₂ | 用于放射性仪器的检漏 |
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